AFTech 因新碳化钽涂层工艺获百万英镑

Advanced Furnace Technology (AFTech) 是一家总部位于剑桥的为 MOCVD 行业提供服务的公司，已获得英国研究与创新局超过 100 万英镑的资助，用于开发一种新型石墨涂层方法。

该石墨部件将支持快速扩张的电力电子行业的 SiC 外延片的增长。

这笔资金是未来领导人奖学金的一部分，已授予 Advanced Furnace Technology 的研究主管 Zoe Tolkien，他将在未来四年内开发和扩展该项目。

Tolkien说：“我非常感谢有机会领导如此激动人心的研究。这笔资金意味着 AFTech 可以在不断增长的 SiC 半导体市场中发挥重要作用。它还让我有机会发展新的领导技能和发展业务。”

可再生能源行业（太阳能、热能和风能）和更环保的运输设备（电动和混合动力汽车）的需求推动了对 SiC 半导体的兴趣，重要的是，该领域的增长支持了英国到 2050 年实现净零碳排放的承诺.

然而，整个制造供应链都需要新的、开创性的工艺，以实现更大批量的制造和满足终端应用的需求。由于 SiC 外延生长过程中需要很高的工艺温度，因此支持的石墨部件需要一种具有高热稳定性和化学稳定性的涂层，同时确保高纯度工艺。

碳化钽作为石墨涂层受到全球广泛关注，因为它在高温下稳定；对 SiC 外延中使用的气体表现出耐腐蚀性；有效地抑制杂质从石墨衬底迁移；并实现平滑的涂层，使晶圆能均匀加热，从而提供出色的工艺控制。

然而，涂层和衬底之间的热应力通常会导致涂层分层，从而减少这些石墨部件的使用寿命。在 UKRI 的资助下，该研究团队将开发一种碳化钽涂层，以克服热应力问题，并将石墨部件的使用寿命延长 30-50%。

Tolkien说：“延长 SiC 外延片生长中使用的石墨部件的生命周期对于成功提高产量和 SiC 电力市场的增长至关重要，”她继续说道，“一旦我们获得了有效的碳化钽涂层，下一步将是扩大生产规模并扩展到商业市场。”