晶驰机电半导体材料装备研发生产项目投产

据“平湖新埭”公众号消息，近日，晶驰机电半导体材料装备研发生产项目投产仪式在新埭镇举行，晶驰机电首台MPCVD设备交付。

据悉，晶驰机电（嘉兴）有限公司成立于2023年，主要从事 、金刚石、氮化铝等第三代、第四代半导体设备的研发、生产和销售。公司分别与浙江大学杭州国际创新中心、杭州电子科技大学共建联合实验室。目前公司产品包括6英寸水平进气和8英寸垂直进气 外延设备（LPCVD法），金刚石晶体生长设备（MPCVD法），氮化铝晶体生长设备， 源粉合成炉， 晶体生长设备（PVT法），氧化镓单晶生长炉（导模法、CZ法），各种晶体和晶片热处理炉。达产后预计实现年产值1.4亿元。

 

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