Veeco向汉民科技交付MBE系统

用于量子计算应用的自动化多室MBE平台

汉民科技总部位于台湾新竹科学园区，是Veeco Instruments的半导体和光电客户，近期，Veeco向其交付了一套GEN20-Q MBE系统。

GEN20-Q MBE系统是一款多室系统，专为生长量子器件而设计，汉民科技将用其进行超导体和半导体材料的外延生长，因为这类材料具有优异的结晶和超导特性。该工艺能力将进一步提高关键器件的特性，并实现从研发到大批量生产的扩展。

Veeco的MBE集团高级营销总监Matthew Marek评论道：“此次出货GEN20-Q系统，代表了Veeco对变革量子计算技术的持续贡献。领先科技公司认可我们的知识和工艺能力，不仅通过MBE平台，还通过原子层沉积来支持量子技术，对此我们深感自豪。这些都是有助于推动行业进步的重要技术。我们期待与汉民科技这样的合作伙伴一起不断创新。”

根据Yole Group发布的《2023年量子技术》报告，针对量子技术的投资已超过300亿美元，其中约有75%用于量子计算硬件。

Veeco的GEN20-Q MBE系统采用定制设计，支持多种量子计算技术的研究和生产，包括超导材料、自旋电子学、高速光学调制。该系统融合了生产设计技术，可直接扩展至Veeco的多晶圆大批量制造MBE系统。