Samco宣布与瑞士大学合作

合作旨在扩大海外销售，促进欧洲市场的发展

上图：微技术和光子研究所洁净室负责人Marco Cucinelli，Samco-Ucp首席执行官Vinzenz Gangl，以及CCP等离子蚀刻机RIE-10NR和紫外臭氧清洗机UV-2。

日本半导体设备公司Samco与瑞士东部应用科学大学（OST）建立了合作伙伴关系。

此举旨在扩大海外销售，促进欧洲市场的发展。

Samco将把其最畅销的RIE-10NR平行板RIE系统和UV-2台式臭氧清洗机借给瑞士东部应用科学大学的微技术和光子研究所（IMP），用于研发目的。这项合作为先进研发提供了一个通道，即能够使用瑞士东部应用科学大学的ISO 5-7级洁净室设施（600平米）和设备进行研发。

2021年4月，Samco将RIE-10NR和UV-2两套系统安置在其列支敦斯登欧洲子公司Samco-Ucp。瑞士东部应用科学大学微技术和光子研究所的洁净室距离Samco-Ucp仅10分钟车程。该洁净室配备了蚀刻前和蚀刻后工艺设备，如光刻胶涂布机，以及用于评估蚀刻性能的扫描电子显微镜（SEM）和膜层测厚计等测量仪器。

Samco-Ucp新任首席执行官Vinzenz Gangl表示：“很高兴我们能与瑞士东部应用科学大学建立牢固而富有成效的合作伙伴关系，使这一难得的机会成为现实。瑞士东部应用科学大学拥有设备齐全的洁净室设施和卓越的基础设施，简化了取样和研发过程。我们热切期待与其合作，共创美好而繁荣的未来。”