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Aixtron工具有助于BelGaN拓展GaN业务

材料来源：ACT

欧洲半导体代工厂投资G10-GaN MOCVD系统，用以扩展业务

欧洲半导体代工厂BelGaN将使用Aixtron的新型G10-GaN MOCVD工具，将其业务扩展到不断增长的GaN市场。

该系统的初始配置为8x150mm，将于2023年底前交付到位于比利时奥德纳尔德的BelGaN生产基地，未来，系统配置将升级到5x200mm。

BelGaN是GaN车规级半导体开放式代工厂，近期，该公司宣布开始生产其第一代650V eGaN技术。Aixtron表示，Gen1平台专为可持续发展和碳中和的高能效应用要求而设计。

G10-GaN将使用GaN-on-Si、GaN on SOI、新型GaN-on-engineered等衬底，进一步将功率芯片的额定电压从40V扩大到1200V。该系统将应用于横向及纵向功率GaN产品，侧重于提高产品性能、汽车质量和可靠性、产量，同时降低成本。

BelGaN首席技术官兼业务开发副总裁Marnix Tack表示，使用MOCVD的GaN外延是所有功率GaN技术的关键工艺，既可以创新器件架构，提高性能、产量、质量，又可以降低GaN产品的成本。他说：“Aixtron的新平台G10生产率高、一致性高、成本低，给我们留下了深刻印象。”

新型集群解决方案G10-GaN建立在Aixtron当前工具G5+C的基础上，同时将洁净室单位面积的生产率提高了一倍。G10-GaN还可确保洁净室每平方米达最高产能，并且通过端到端的全自动化，成为唯一一个完全为硅晶圆厂设计的MOCVD系统。

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