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Diamond Foundry制造出首个100mm单晶金刚石晶圆

材料来源：雅时

总部位于美国加利福尼亚州旧金山的Diamond Foundry Inc（DF）表示，已制造出世界首个100mm单晶金刚石晶圆。

三十年前，Diamond Foundry团队成员就着手制造金刚石晶圆，制造出首个100mm单晶金刚石晶圆就是他们这些年来的工作成果，其中需要开发各种技术，包括在可扩展的衬底上制造单晶晶格、大面积生长金刚石晶锭、金刚石切割技术、精密表面处理技术。

目前，金刚石无法达到晶圆尺寸，因此Diamond Foundry必须制造出“金刚石晶圆之母”，然后利用它生产出更多晶圆。该公司使用金刚石异质外延技术（在可扩展的衬底上制造单晶金刚石），并将其与其他技术相结合，制造出有史以来首个单晶金刚石晶圆。该公司补充说，以前有过金刚石晶圆，但实际上以压缩金刚石粉末的形式存在，无法媲美单晶金刚石的特性。

相比之下，迄今从地球自然资源中开采出的最大金刚石原石（库里南金刚石）的最大尺寸为5.89cm，比Diamond Foundry的金刚石小4cm以上。

Diamond Foundry表示，其下一个目标是进一步降低金刚石晶圆的缺陷密度，使金刚石的品质因数达到半导体标准，即比硅高出17200倍，比高出60倍。

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