KLA-Tencor发布新一代LED晶圆检测机台WI 2280

2012年12月5日，专为半导体和相关产业提供制程控制与成品率管理解决方案的全球领先供应商KLA-Tencor公司推出了其最新LED晶圆检测机台WI 2280。WI 2280的推出使得LED制造商能够在当前的基础上，继续降低检测成本，同时检测的灵活性与效率也得到了进一步的提升。

据悉，此次KLA-Tencor公司推出的新检测机台是作为下一代LED印刷（LED patterned）晶片检查仪器，该机台完全适用于LED晶圆的缺陷检测与LED应用程序进行2D度量（2D metrology）。在另一方面，WI 2280相对于上一代机台而言，其检测能力也相应提高，适用于现如今半导体行业内2英寸至8英寸的晶片检测。

同时，WI 2280还会对晶圆缺陷进行自动分类，并为操作人员提供最佳的解决途径。这就让LED制造商能在最短的时间内，最大化得提升自身产品的良率及生产效率，并且WI 2280不间断地对工艺过程进行监控以确保安全运营。

KLA-Tencor增长和新兴市场部门（GEM）集团副总裁Jeff Donnelly对此表示，当前的LED企业越来越需要检测技术的提高来帮助他们实现产能的提升，同时检测的准确度也是十分重要的，这对于提高产品的良率至关重要。

Donnelly进一步指出，ICOS WI 2280的发布对迎合了LED市场的现实需求，最终会帮助LED厂商提高每瓦的流明输出和产品性能上的飞跃。我们也将继续努力，不断提升我们的ICOS产品线的水平，以满足LED市场的未来需求。

据介绍，WI 2280搭载了灵活先进的光学模式与专业的图像处理系统，其晶圆缺陷的高捕捉率并针对不同的工艺背景有自己的对应模式。另外一个值得注意的是，新机台能对不同的缺陷作出判断分析，并为工程师提供最佳解决方案。

另外，WI 2280还具有从前端工艺制造到后端检测上的连续性，并且提供一个单一的缺陷分析平台。KLA-Tencor公司相关人员介绍，WI 2280在在线与离线状态下都能简单得对重新分类进行操作。

除了LED应用领域之外，半导体电子元器件厂商和功率设备市场也能利用ICOS WI 2280作质量检测，对前端印刷图案晶片作检查改进或进行工艺控制。最后，ICOS WI 2280能与KLA-Tencor的Candela LED无印刷晶圆检测系统联合配套使用。