Azzurro成功联合Epistar实现硅基氮化镓150mm

近日据媒体报道，Azzurro公司与Epistar公司共同宣布了在结合了Epistar公司高亮LED架构和Azzurro硅基氮化镓150mm专利技术之后，终于实现了对硅基氮化镓LED技术上的突破。

在使用了模版与应用工程之后，运用Azzurro技术能使得LED外延工程师非常快速地将LED的组织架构转换至硅基氮化镓平台，而该公司的专利及专有的缓冲压力管理技术，能对LED外延片产生更好的同质性（小于4nm的波长同质性），该技术不仅能帮助减少需要筛选并且提高了产品的自身良率。

Epistar公司主席Lee Biing-Jye对此表示，我们对此次联合研发试验的结果十分满意，实验结果表明在原有的制造成本与速度上有了一个很大的飞跃。这也表明硅基氮化镓技术已经在这个行业里逐步显现出它特有的优势。 Azzurro公司的CEO Erwin Wolf也谈到，这项全新的革新技术能使得整个LED行业跨入到一个全新的高阶领域，现在有越来越多的晶圆厂商开始和我们接触。

硅基氮化镓也被证明是完全匹配了蓝宝石设备的性能，但在半导体行业里采用硅基设备也是出于扩大产出规模和降低成本的考虑，事实上，半导体公司正通过对150mm晶圆（6寸）LED自动化产生的结构单元标准化进行演进。日本东芝公司就曾宣布，通过与Bridgelux公司的兼并，在今年年底就采用200mm硅基氮化镓工艺技术生产。

与此同时，另一家行业巨头中芯国际也正在朝着自己研发轨迹，发展在200mm上制程硅基氮化镓功率元器件。就在去年，中芯国际就曾利用标准CMOS工艺与设备完善了前端制造工艺。