Azzurro简化硅基氮化镓生长工艺

坐落于德国东部德累斯顿市的Azzurro公司是一家向LED制造商供应150mm硅基氮化镓衬底的公司。近日，该公司发布了一份白皮书，详述讲解了如今的LED制造商正转向硅基氮化硅阵营。该公司发言人还称，此次推出的150mm的硅基氮化镓衬底技术将领导更短的产品设计周期。

下方的原理图是取自于此次发布的白皮书中，所呈现的是蓝宝石衬底的LED架构和基于硅衬底的不同对比。据悉，Azzurro公司在这份白皮书里阐述了如何在硅基氮化镓上将目前的技术障碍克服。此外，白皮书还描述了在使用这项技术之后可能得到的技术提升和未来产品的高性能，同时也指出了硅基氮化镓技术为LED外延技术工程师指明了发展方向。

目前，硅基氮化镓产品的详细资料还是与高结晶质量有关，对于EPD描述设备的描述停留在2 x 108cm-2，波长小于4nm并且其弓值小于20μm。

Azzurro公司在结合应用了厚氮化镓缓冲层和张力工程技术专利之后，这些先进技术优势能完全保证硅基氮化镓能完全发挥其自身功能。另外，也有效降低了需要筛选（binning）的比例。

如今，更大的晶圆尺寸和更低的弓值允许了标准硅加工生产线的投产，这对于晶圆生产的成本突破和后端制造意义重大。下面的图片所展示的就是典型的晶格失配和Azzurro公司在运用缓冲层技术之后平衡了感应应力（induced stress）。

Azzurro公司半导体事业部运营副总裁Markus Sickmoeller对此谈到，我们的这种即插即用的方法完全基于我们的应用手册，并且所用到的工程技术能确保残留材料能顺利迁徙，从而有助于硅基氮化镓易于生产制造，在标准硅生产线上晶圆的尺寸越大，成本控制也就越显著。