工信部推广国产DUV光刻机，最小套刻精度≤8nm

日前，工信部宣布印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024 年版）》。

其中，在《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》电子专用装备目录下，集成电路设备方面包括：氟化氩光刻机，光源193纳米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。

在“工信微报”官方公众号中提到，重大技术装备是国之重器，事关综合国力和国家安全。中国首台（套）重大技术装备是指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品，包括整机设备、核心系统和关键零部件等。该文件的发布旨在促进首台（套）重大技术装备创新发展和推广应用，加强产业、财政、金融、科技等国家支持政策的协同。

《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》原文见附件（点击“附件”下载）