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万业企业与国家第三代半导体技术创新中心达成战略合作

2024/8/20 9:22:10 材料来源：万业企业

近日，据上海万业企业股份有限公司（以下简称：万业企业）官微消息，万业企业8月16日与国家第三代半导体技术创新中心（苏州）在苏州纳米城举办的国家第三代半导体技术创新中心（苏州）2024年发展战略研讨会现场举行了《协同创新发展全面战略合作协议》签署仪式。

source：万业企业

根据协议，双方将瞄准第三代半导体产业应用需求，围绕先进半导体设备和工艺关键技术，共同培育和承担各类重大项目。

具体来看，此次携手合作，双方将共建国家第三代半导体创新中心先进器件制造中心与第三代半导体工艺技术开发平台，围绕先进半导体设备和工艺关键技术，设置研发课题，联合攻坚关键工艺节点核心工艺技术问题，合力开展关键工艺技术开发，推动第三代半导体芯片制程量产关键设备国产化、标准化，实现技术自主可控。

资料显示，国家第三代半导体技术创新中心（苏州）由江苏第三代半导体研究院有限公司作为主体承建单位，聚焦第三代半导体在新型显示、5G通信、电力电子、环境与健康等领域的应用，开展第三代半导体高质量材料制备技术、器件外延技术、芯片工艺技术、应用模块设计与集成技术、相关装备技术等关键共性技术研发和成果转移转化，建立覆盖第三代半导体全产业链条、全体系的创新平台。

万业企业成立于1991年10月，是一家半导体设备材料厂商。近年来，万业企业陆续收购凯世通、Compart Systems，成立嘉芯半导体，持续加大集成电路在公司整体业务中的比重。

目前，万业企业已形成多个半导体前道核心设备产品线，业务覆盖集成电路离子注入机、刻蚀、薄膜沉积、快速热处理等多类主制程设备以及尾气处理等支撑制程设备.

作为万业企业控股子公司，凯世通专注于为下游晶圆厂提供覆盖逻辑、存储、功率、CIS四大应用领域的设备。其自主研发生产的低能大束流离子注入机和超低温离子注入机，已经率先通过了国内多家重点12英寸晶圆厂的验证验收，并实现了产业化应用。

凯世通自去年开始研发投入多款面向细分领域的离子注入机，包括SOI氢离子注入机、6/8英寸高温离子注入机、中束流离子注入机、超高能离子注入机等特色工艺设备。

【近期会议】

10月30-31日，由宽禁带半导体国家工程研究中心主办的“ 先进技术及应用大会”将首次与大家在江苏·常州相见，邀您齐聚常州新城希尔顿酒店，解耦产业链市场布局！https://w.lwc.cn/s/uueAru

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