Transphorm选用AIXTRON爱思强AIX G5+ 200mm晶圆硅基氮化镓系统

爱思强股份有限公司近日宣布，美国公司Transphorm Inc.向其订购每批可处理五片直径为200mm（5x8 英寸）晶圆的AIXTRON 爱思强G5+ MOCVD 系统，用以提升其硅基氮化镓的产能。AIXTRON 爱思强是在2012 年第四季度接获订单，将于2013年第二季度交付系统。

Transphorm 总裁Primit Parikh 表示： “此次订单将不仅提高我们的产能, 这套新系统也将使我们实现从直径150mm晶圆向200mm 晶圆的过渡，为我们带来规模效益。我们希望能以较低的总拥有成本实现更大尺寸的晶圆生产工艺，从而将这次技术升级应用到更广泛的领域。”

AIXTRON 爱思强副总裁兼功率器件项目经理Frank Wischmeyer 博士表示：“在研发AIXTRONG5+系统时，我们正是考虑到像Transphorm 这样的客户的需求。硅基氮化镓发展势头迅猛，业界期望能在未来短期内将这项技术商品化。以最低的总拥有成本实现最高的性能，是其成功的关键。我们的G5+系统每批次可生产多片大直径的晶圆，并拥有冠绝业界的工艺稳定性和均匀性。”

Transphorm 于2010 年首次订购AIXTRON 爱思强系统，是一套6x150mm 晶圆规格的AIX 2800G4 HT系统。 Parikh 补充说：“鉴于我们现有系统的出色表现，我们有信心将能快速顺利地过渡到更大直径的晶圆生产。”

AIX G5+是基于历经验证的AIX G5 HT反应器平台。其卓越的稳定性和均匀性表现，提供了较市面上任何其他MOCVD系统更高的设备良率。

Transphorm致力于重新定义功率转换，以相宜的系统成本提供易于嵌入的功率转换设备和模块，从而将成本高昂的能量损耗降低50%以上。Transphorm 基于氮化镓的解决方案可简化多种电子系统和设备的设计和生产，包括电源供应器、太阳能逆变器／功率调节器、电机驱动器和电动车等。