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合肥欣奕华大尺寸GW级钙钛矿RPD设备量产交付

材料来源：欣奕华

近日，合肥欣奕华智能机器股份有限公司（下称“合肥欣奕华”）完成新一台大尺寸GW级RPD（反应式等离子体沉积镀膜）设备量产交付。至此，合肥欣奕华近期已陆续向钙钛矿两个龙头客户完成GW级钙钛矿RPD设备量产交付。

RPD设备是合肥欣奕华继钙钛矿蒸镀机之后，推出的又一款大面积钙钛矿真空成膜核心工艺设备，其优势在于可以减少对钙钛矿电池的轰击损害，有利于提高转换效率和良率。由于其制备膜层透光率高、沉积速率快、转换效率高，已逐渐成为大面积钙钛矿量产的重要选择。

合肥欣奕华此次出货的大尺寸GW级RPD设备主要用于钙钛矿光伏电池功能层和透明导电膜层制备，可实现高能量粒子对基板零损伤，具有工艺温度低，电阻性能优异、透过率优良等特性，其膜厚均一性、膜厚重复性等关键技术指标均达到国际先进水平。

合肥欣奕华通过不断创新，致力于推动钙钛矿产业化快速发展，可向行业用户提供尺寸覆盖300mm*300mm至1200mm*2400mm的全系列钙钛矿RPD设备和蒸镀设备，助力我国第三代光伏技术实现高速向前发展。

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