AIXTRON新的研发中心接收首台干床吸收设备

AIXTRON新的研发中心接收首台干床吸收设备

Aixtron SE为其新的研发中心选择CS Clean Systems的干床吸收设备。11台CLEANSORB废气处理系统将用于位于德国和中国Aixtron研发中心的MOCVD设备和工艺。

  

CLEANSORB干床吸收设备CS200PS PRIMELINE系列具备可再充CLEANSORB柱

总共有11台CLEANSORB CS200SC型设备安装在了德国亚琛Dornkaul的Aixtron研发研发中心，以及中国苏州工业园区（SIP）新的培训设施中。苏州培训中心是Aixtron与久负盛名的苏州纳米技术和纳米仿生研究所（SINANO）建立的合资企业。

在构建和运行后，CLEANSORB干床吸收设备将由设在上海的CS CLEAN SYSTEMS（中国）办事处提供直接服务。

对用于MOCVD生长和III-V族外延结构刻蚀的气体和液体有机金属前体来说，在毒性、自燃和腐蚀性方面非常关键。CLEANSORB干化学吸收技术不使用活性炭或其他可燃材料。通过室温下的干化学反应，有害气体被转换为稳定的固体副产品，无需加热或产生污染废水。

密封的CLEANSORB吸收柱设计可确保MOCVD用户绝不会接触到有毒的MOCVD副产品。在吸收寿命结束时，CLEANSORB柱返回到本机CS Clean Systems服务合作伙伴进行维护。在翻新和再充新鲜化学吸收剂后，再将吸收柱运回给客户进一步使用。