Axcelis宣布向全球领先的 芯片制造商批量出货Purion Power系列离子注入机

半导体行业离子注入解决方案的领先供应商Axcelis Technologies, Inc.，于近日宣布向全球领先的 （SiC）功率器件芯片制造商批量出货Purion Power Series™离子注入机系统。所有货物在第二季度交付，包括为美国一家领先的SiC功率器件制造商提供的Purion H200 SiC评估系统，以及为亚洲客户提供的多个收益管理系统。交付的Purion Power系列离子注入机的型号包括Purion H200™高电流、Purion EXE™高能量、Purion XE高能量和Purion M™中电流离子注入机。这些系统将用来支持大批量生产汽车行业电动汽车（EV）应用的动力器件。其中几个系统是从位于韩国的Axcelis亚洲运营中心发货的。

总裁兼首席执行官Russell Low表示：“由于向电动汽车过渡， 功率器件市场持续快速增长。该市场是我司增长的关键驱动力。公司将继续向新客户渗透，并扩大现有客户的覆盖。预计到2023年，超过55%的系统收入将来自整个功率器件领域。”

市场营销和应用的执行副总裁Greg Redinbo表示：“Purion Power系列是市场的领导者，它具有高度差异化的特性以及工艺控制功能，可以用于功率器件应用。Axcelis是唯一一家可以为所有功率器件应用提供完整服务的离子注入公司。完整的Purion Power系列产品让客户能够优化其晶圆厂，实现大批量生产，不断提高其功率器件性能。”

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