红色AlInGaP在CMOS代工兼容工艺中得到验证
MICLEDI MicroDisplays公司在AlInGaP上生产了其首批红色μLED演示单元。它在 CES 2023 上展示了它们。
这是其R、G 和 B μLED 产品组合的最新成员,遵循公司优化显示模块性能的战略,采用 CMOS 兼容流程制造,不含砷化物。
MICLEDI的战略是,通过制造最佳的单个色彩性能的μLED来实现真正的消费者AR眼镜,当它们与公司专有的微透镜结合使用时,可以集成到性能最高的全彩色3面板μLED显示模块中。
不同的应用(真正的消费电子、工业、汽车等)需要不同的最佳性能参数。MICLEDI首席执行官Sean Lord指出:“AR眼镜没有一个放之四海而皆准的解决方案。这一成就,加上我们之前发布的蓝色、绿色和红色氮化镓μLED,为显示模块性能参数更广的产品打开了大门,使MICLEDI能够为开发中高分辨率和中高亮度AR眼镜的客户提供服务。
联合创始人兼首席技术官Soeren Steudel表示:“在世界一流的300mm晶圆厂中使用先进的光刻技术,确保MICLEDI制造的μLED将实现最低的缺陷率,最高的工艺控制和可重复性,并利用制造中的共生关系,在制造µLED的同一工厂和工厂工艺中制造用于µLED控制和驱动的先进ASIC。通过与世界领先的材料开发商的合作,以及与IMEC和其他晶圆厂合作伙伴的健康合作,我们将在CES上展示全驱动电流范围内具有出色色彩表现的µLED,用于许多不同类型的AR眼镜设备,包括蓝色、绿色和两个优化版本的红色。”
MICLEDI的第一款GaN上红色µLED波长以620nm为中心,良好的FWHM为<50nm。最新发布的AlInGaP上红色µLED实现了653纳米的波长,FWHM极窄,小于9纳米。MICLEDI颜色组合中的最新成员是法拉利红,不含砷化物,兼容CMOS,并且与标准GaN microLED相比采用新结构设计。
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