Plasma Therm宣布Heatpulse快速退火大订单

Heatpulse系统将用于在日本制造用于电动汽车和其他汽车应用的SiC MOSFET功率器件

Plasma Therm已收到一家日本领先设备制造商的订单，设备基于Plasma Therm新设计的快速热处理（RTP）平台构建的多个系统。

热脉冲系统将用于在日本制造用于电动汽车（EV）和其他汽车应用的SiC MOSFET功率器件。

该公司表示，其新平台不断吸引其客户群的兴趣，以满足新的加工需求和更高的投资回报率（ROI），包括上月在欧洲宣布的多个订单。

这家总部位于日本的客户选择了Heatpulse RTP，用于其新的双烘箱配置，能够达到1000摄氏度以上的温度，包括全新的Cortex高级监控软件。

Plasma Therm销售和业务发展副总裁Jim Garstka表示：“许多设备制造商都在应对供应链问题，这些问题影响了他们满足当前备件需求的能力，包括传统安装的Heatpulse系统。我们的战略是为客户提供一种解决方案，使其现有安装的系统现代化，并降低与采购备件相关的风险。这使客户能够立即从关键系统升级中受益，以提高性能和吞吐量，同时在未来十年中保持现有流程在生产中的平稳运行。”

Plasma Therm Japan国家经理Hirokuni Shibata表示：“我们继续看到200mm及更小衬底的专业市场快速增长，包括汽车应用的功率器件，行业分析师预计日本市场将增长6.2%。由于我们的大部分Heatpulse系统安装在日本，我们很高兴为客户提供即时解决方案，以提高处理性能并确保最大的工具正常运行时间。”

重新设计的Heatpulse RTP平台与传统的AG Heatpulse8108和8800系统以及现有工艺完全兼容。灵活的平台可容纳多种晶圆尺寸，并具有升级的机器人和Plasma Therm业界领先的Cortex工艺控制软件。

通过双烘箱配置，新的Heatpulse以更小的占地面积提供更高的每平方米吞吐量，使客户能够实现更高的ROI。其直接结果是优化了产量和产能，并在大批量生产过程中最大化正常运行时间。

此外，实施了新的Heatpulse RTP晶圆尺寸转换套件，消除了复杂、耗时的系统硬件更改，以帮助进一步提高ROI，并在转换过程中节省时间和金钱。