罗德与施瓦茨公司宣布推出晶圆上器件表征测试解决方案

罗德与施瓦茨公司（Rohde & Schwarz）现在提供用于晶圆上DUT的完整射频性能表征的测试解决方案，该解决方案将强大的罗德与施瓦茨R&S ZNA矢量网络分析仪与来自FormFactor公司业界领先的工程探针系统相结合。因此，半导体制造商可以在开发阶段、产品认证和生产过程中执行可靠且可重复的晶圆上器件表征。

5G射频前端设计师旨在确保适当的射频能力以实现频率覆盖和输出功率，同时优化能效。此过程中的一个重要阶段是调查RF设计，以尽早获得有关设计的反馈，并评估晶圆级的性能和功能。在晶圆上环境中表征DUT需要一个测量系统，其中包括矢量网络分析仪(VNA)、探针台、RF探针、电缆或适配器、专用校准方法以及特定DUT或应用的校准基片。

为执行这些基本测量，罗德与施瓦茨公司提供了高端R&S®ZNA矢量网络分析仪，该分析仪可表征同轴和波导级别的所有射频认证参数，以及适用于67GHz以上应用范围的频率扩展器。FormFactor通过手动、半自动和全自动探针系统解决晶圆接触问题，包括热控制、高频探针、探针定位器和校准工具。包括R&S ZNA 在内的整个测试系统的校准完全由FormFactor WinCal XE校准软件支持。

在测试设置中，由于完全校准设置，用户可以使用R&S ZNA的所有测试功能。通用S参数测试允许对滤波器和有源器件进行表征，但也可以执行失真、增益和互调测试来对功率放大器进行鉴定。对具有跨器件带宽相位表征的混频器的频率转换测量是该联合解决方案支持的测量应用的另一个示例。完全校准的设置还允许直接从VNA获取所有结果，无需后处理，因为校准数据直接应用于VNA。罗德与施瓦茨公司的频率扩展器开辟了亚太赫兹频率，例如D波段，目前是6G研究的重点。扩频器将被集成到探针台，以确保最短的电缆，并实现最佳的动态范围，同时避免由电缆到探针尖的损失。

声明：本篇文章属于原创，拒绝转载，如果需要转载，请联系我们，联系电话：0755-25988571。