Cameca 增加了原子探针层扫描范围

Invizo 6000 和 LEAP 6000 XR 在学术实验室和制造设施中推进了 APT 方法

Cameca 是 Amatek 的一个业务部门，它宣布了两个新的原子探针层扫描平台，Invizo 6000 和 LEAP 6000 XR，它们是在威斯康星州麦迪逊的原子探针技术中心开发的。

原子探针层扫描 (APT) 是一种材料科学方法，能够对金属和合金、陶瓷、半导体、生物材料和地质材料进行 3D 纳米级成分表征。

“自从开发出革命性的局部电极原子探针以来，Cameca 一直处于 APT 仪器设计的前沿，”Cameca 业务部门经理 Jesse Olson 说。 “Invizo 6000 和 LEAP 6000 XR 原子探针的主要新功能有望在全球学术实验室和制造设施中进一步推进这项研究技术。”

仪器系列的最新成员 Invizo 6000 采用了获得专利的静电技术，可扩大视野；深紫外（DUV）激光模块；先进的光束传输光学器件，可实现双面样品激光照明；和新的提取电极设计。 Invizo 6000 提供了更多的分析量，以捕获更大的感兴趣的特征，并改进了多种应用的分析测量，例如冶金、地球科学、电池和半导体。

LEAP 原子探针系列中的最新仪器 LEAP 6000 XR，建立在 LEAP 平台经过验证的实用性之上。它提供分析准确度和精密度，同时保持支持高样品量环境所需的微探针兼容性和自动化。激光-样品-电极校准的自动化提高了样品吞吐量和易用性，6000 XR 增加了 DUV 激光脉冲，以提高数据质量和样品产量。此外，它还引入了一种新的同步电压激光脉冲模式，可将检测灵敏度提高了一个数量级，从而增强在半导体和其他材料中的应用。