微尺寸发光二极管 (Micro-LED) 因其在高分辨率显示器、可穿戴设备和 VR/AR头盔中的潜在 应用而引起了广泛的关注。然而,它们的器件性能会受限于传统侧向结构Micro-LED,其两 个电极往往处于 p-GaN 侧。在此,我们开发了可转移的硅基垂直结构Micro-LED,其两个电 极相对,具有更好的散热性,并且比传统的侧向结构Micro-LED 亮度高 60%。我们进一步开 发了一种新型的双面胶带辅助转移工艺,使这些垂直结构Micro-LED 能够以简单而可靠的方 式完全转移到聚酰亚胺胶带上。结合基于低熔点图案化铟合金的键合方案,这些转印在胶带 上的 Micro-LED 可以进一步集成到具有共p电极的硅背板上。最后,通过形成连接到每个像 素的n电极,从而首次制备出具有单独寻址阴极的新型倒置垂直结构Micro-LED显示器。 - 李长灏,潘章旭,郭婵,李育智,周月,王建太,邹胜晗,龚政*
微尺寸发光二极管 (Micro-LED) 因其在高分辨率显示器、可穿戴设备和 VR/AR头盔中的潜在 应用而引起了广泛的关注。然而,它们的器件性能会受限于传统侧向结构Micro-LED,其两 个电极往往处于 p-GaN 侧。在此,我们开发了可转移的硅基垂直结构Micro-LED,其两个电 极相对,具有更好的散热性,并且比传统的侧向结构Micro-LED 亮度高 60%。我们进一步开 发了一种新型的双面胶带辅助转移工艺,使这些垂直结构Micro-LED 能够以简单而可靠的方 式完全转移到聚酰亚胺胶带上。结合基于低熔点图案化铟合金的键合方案,这些转印在胶带 上的 Micro-LED 可以进一步集成到具有共p电极的硅背板上。最后,通过形成连接到每个像 素的n电极,从而首次制备出具有单独寻址阴极的新型倒置垂直结构Micro-LED显示器。 - 李长灏,潘章旭,郭婵,李育智,周月,王建太,邹胜晗,龚政*