弗劳恩霍夫固体物理应用研究所选择Veeco GEN200分子束外延系统

近日据悉，位于德国弗莱堡地区的 研究机构弗劳恩霍夫固体物理应用研究所，于近期采购了一台Veeco公司所生产的GEN200分子束外延系统。该反应系统将被用于基于锑化物和砷化物的III-V族光电元器件的研发工作。

弗劳恩霍夫研究所红外探测器业务部门主管Martin Walther对此表示，弗劳恩霍夫研究所与Veeco公司自十多年前起就展开了合作项目，通过十年间的研发实践工作，我们对Veeco分子束外延系统（MBE systems）本身已非常熟悉，因此基于此考虑，我们也再次从Veeco公司购买一台全新的GEN200系统，以此来满足我们对基于锑化物III-V族光电元器件外延层发展的现实需求。

Veeco公司副总裁兼MBE部门主管Jim Northup则谈到，为能与弗劳恩霍夫研究所再次合作感到什么高兴，弗劳恩霍夫研究也是被公认为是世界上顶尖III-V族半导体制造的研究所之一。目前，GEN200也得到了业界的一致肯定，其出色的4×4英寸磊晶圆（epi wafer）生长的低成本也得到了弗劳恩霍夫研究所肯定。