大阪大学选用爱思强系统生产生物传感器

爱思强股份有限公司日前宣布，日本大阪大学向其订购一套能处理4 英寸基材的爱思强BM* Pro 系统。该订单已于2012 年第三季度接获。

在Matsumoto 教授和Maehashi 助理教授的带领下，产业科学研究所半导体电子部的研究人员将利用这套新设备生产适用于生物传感器的碳纳米管(CNT)及石墨烯结构。目的是通过结合使用石墨烯场效应晶体管和抗体、抗原及适配体等有机药品，实现对特定蛋白质进行电子检测。此外，这套BM Pro 系统还将用于生产适用于微机电系统(MEMS)和能量存储装置的碳纳米管。

爱思强纳米技术设备总监Ken Teo 博士表示：“我们的系统之所以能获得大阪大学的青睐，是因为它能提供具有成本效益的整体解决方案，由我们来处理复杂的CVD 过程，让研究人员可以将更多时间和精力投入到元件细节的研发中。BM Pro 系统操作简易、具备出色的灵活性和成熟的工艺，能以可重复生产的方式可靠地为客户生长多种纳米管和石墨烯，是对流程可靠性具有高要求的器件开发项目的完美选择。凭借我们的技术，客户还可以选择使用BM 300T 系统大规模生产300 毫米晶圆，流程转移简单易行。”

为满足生长多种石墨烯和碳纳米管同时实现高度的质量一致性的要求，爱思强BM Pro 系统配备了升温速率高达300 度/分钟的高性能加热器、顶置式晶圆温度控制、脉冲等离子体和自动处理工艺。该系统专为多用户实验室设计，具备详细的数据记录功能、安全联锁装置和反应器集成监控摄像头，保证可靠的流程监控。