OLT Solar 推出用于生产晶体硅太阳能电池的PECVD新系统

由奥宝科技和LT Solar共同投资的OLT Solar有限责任公司于上周中国国际太阳能光伏展会（SNEC）的E3-828展位推出一款用于生产晶体硅太阳能电池的PECVD新系统。

据悉，Aurora PECVD^®共有三个型号，是一款用于晶硅光伏电池生产的氮化硅沉积系统。借助OLT太阳能的核心科技，加强化线性中空阴极（ELH）喷头，该设备能够以最快的沉淀速度实现最优质的SiNx(ARC)涂层沉积。

通过引进多向无托盘基板处理流程，Aurora PECVD^®从操作环境中移除了载板并消除了由多个载板所导致的流程多变性，从而改进了工艺的一致性与重复性。Aurora PECVD^®可在室温下处理基板，无需外部加热或冷却，极大地降低了能源消耗与所有者的总体成本。通过采用ELH喷头，该系统确保能够减少工艺气体的消耗，同时作为一种多功能PECVD反应器，该系统可单独或连续沉淀多种薄膜，包括SiNx、SiOx、SiON、a-Si等。Aurora PECVD^®以其高性能、低损耗和低成本为行业带来了相当大的竞争优势。

对于公司参与此次参展，OLT Solar的首席执行官Wendell Blonigan先生说：“对公司来说，这是一个重要的里程碑，我们非常高兴能够参加中国国际太阳能展（SNEC）。通过结合创新的PECVD反应器的设计、崭新的生产系统架构以及奥宝科技的全球布局，OLT Solar将能够更好地支持太阳能光伏市场的不断发展。”