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华海清科:建设上海集成电路装备研发制造基地

2024/8/21 9:34:40      材料来源:华海清科

近日,华海清科发布公告称,为加快产能规划及产业布局,公司拟在上海自由贸易试验区临港新片区投资建设“上海集成电路装备研发制造基地项目”,开展集成电路专用设备的研发、生产、销售业务。
根据公告,该项目计划总投资不超过16.98亿元,建设周期预计为24个月。项目由全资子公司华海清科上海实施,将进一步扩大公司半导体装备产能,推动高端半导体装备的研发和生产,快速布局国内外市场。
据了解到,在今年5月中旬,华海清科就与上海临港新片区管委会签署了战略合作协议,仅在3个月后就宣布启动项目。
资料显示,华海清科成立于2013年,是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体装备供应商,主要产品包括CMP装备、减薄装备、划切装备、湿法装备、晶圆再生、关键耗材与维保服务等。
在第三代半导体领域,华海清科面向第三代半导体等客户的机型可兼容6-8英寸各种半导体材料抛光,满足第三代半导体、MEMS 等制造工艺,已小批量出货。同时,面向第三代半导体客户的新机型正在积极研发中,预计今年发往客户验证。
 
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