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蔚华科技和南方科技宣布推出SiC缺陷工具

2023/12/25 9:24:31 材料来源：雅时

JadeSiC-NK非破坏性检测系统采用非线性光学技术对SiC衬底进行全片扫描

蔚华科技及其近期收购的子公司南方科技推出了JadeSiC-NK非破坏性缺陷检测系统。

JadeSiC-NK采用非线性光学技术对SiC衬底进行全片扫描，找出衬底内的致命缺陷，如BPD、TSD、MicroPipe、Stacking Fault。

据两家公司称，该系统可替代成本高的破坏性KOH（氢氧化钾）蚀刻检测方法，从而提高产量并改进工艺。

若以每块SiC晶锭需要蚀刻两片衬底计算，针对拥有100台长晶炉的衬底制造商，JadeSiC-NK每年可省下约768万美元的蚀刻损失成本。

蔚华科技首席执行官杨燿州说：“此次通过收购南方科技，蔚华旨在加快自主品牌产品的开发进程，从半导体封测设备扩展到光学检测领域。最初的重点是极具前景的材料缺陷检测。此举有望为客户、员工、投资者带来一个振奋人心的新阶段。”

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