Rigaku SE和Fraunhofer IISB的科学家荣获2023年Georg Waeber创新奖
Rigaku SE和Fraunhofer IISB在德国埃尔朗根共同运营X射线形貌专业技术中心,其中一个团队创建了一种新型SiC晶圆表征方法。目前,领导该开发工作的三位科学家荣获微电子促进协会(Förderkreis für die Mikroelektronik e.V.)授予的2023年Georg Waeber创新奖。
上图为Rigaku SE欧洲区总经理Michael Hippler、Fraunhofer IISB的christian Reimann和christian Kranert在Fraunhofer IISB X射线形貌专业技术中心的Rigaku XRTmicron工具前与获奖证书合影。
迄今为止,在制造SiC电力电子器件的早期阶段,特别是在衬底或晶体(通常称为“圆盘”)层面,还没有适用产业的计量方法。新方法提供了一款采用缺陷检测和量化算法的X射线形貌系统。该系统无需因为表征而对半导体衬底进行破坏性缺陷蚀刻和弃置。
Rigaku SE不到两年就成功建立了新业务,体现出这项联合创新的成功之处。Rigaku SE总部位于日本,现已成为全球领先供应商,其X射线形貌工具可用于制造SiC衬底及器件。
微电子促进协会包括业内公司、两家Fraunhofer研究所、埃尔朗根-纽伦堡大学的四个教席、纽伦堡工商会。其主要目标是促进科学与产业之间的顺利交流,Georg Waeber创新奖便体现了这一点。
Georg Waeber创新奖每年颁发一次,以表彰杰出的科学成就,着重强调微电子知识的进步及其在产业中的实际应用。2023年10月25日,Michael Hippler、christian Reimann、christian Kranert在颁奖仪式上获得奖项,该仪式于埃尔朗根Fraunhofer IISB举行。
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