imec与Park公司签署第二期JPD协议合作开发用于半导体制造的纳米计量解决方案

有着先进计量学解决方案的创新型原子力显微镜公司Park以及全球领先的纳米电子研发与创新中心的imec，于2020年2月17日在比利时鲁汶的imec总部正式举行了签约仪式。这是合作双方在4年内签署的第二个联合开发项目（JDP），双方都致力于加大力度研发下一代的在线AFM计量解决方案。

新的JDP扩展了合作关系，以探索适用于晶圆半导体领域的AFM计量解决方案的新领域。第一个JDP成功探索出在线自动原子力显微镜在半导体研究中的强大性能，例如表面粗糙度，临界尺寸（CD）和侧壁粗糙度；而第二个JDP则适用于多个战略性发展，以应对不断缩小规模的当前计量挑战设备和3D组件堆叠的几何尺寸。

“与imec等领先的研究中心合作，对我们能够提供满足研究和工业市场需求的最佳技术解决方案至关重要。我很高兴再次与imec合作，进行此项探索。我也期待着进一步的合作卓有成效。”Park原子力显微镜公司首席执行官Sang-il Park博士评论道。

Kristof Paredis博士（imec研发经理）补充说：“Park公司在过去几年里取得了长足发展，这无疑对我们与Park的共同开发工作有很大帮助。我们刚签署的联合开发项目也展现了我们之间最真诚美好的合作关系。”。

在2015年签署首个JDP后，Park原子力显微镜公司正式加入了imec的工业联盟计划（IIAP），并成为IIAP的重要成员。从那时起，Park和imec中以研究员和工程师为主的跨学科团队夜以继日研发，旨在提高半导体行业的生产良率和器件性能。为了应对越来越精巧化的半导体器件的市场挑战，合作双方将重点放在新型JDP的实际问题解决应用程序上，创新的3D计量学功能将应运而生。