阅芯科技CTO 张文亮：第三代半导体需要全产业链协同发展

 山东阅芯电子科技有限公司（Prime-Rel Electronic Technology Ltd. Co.）是一家功率器件检测装备和解决方案供应商，专业从事功率半导体器件检测装备的自主研发制造与综合测试分析服务。阅芯科技公司坐落于山东美丽的海滨城市荣成。公司核心团队汇集了中科院微电子所、ABB中国研究院、海外业内专家等一系列技术人才，经过多年行业深耕，积累了丰富的上下游产业资源，并于2017年6月获得了荣成国有资本天使轮融资。依托于雄厚的技术实力、产业资源、运营资本以及地方政府的大力支持、政策红利，阅芯科技将以实现功率器件检测装备中国智造为己任，致力于打造国际一流品牌，助力成就“中国芯”！

山东阅芯电子科技有限公司首席技术官CTO 张文亮先生

在2020年到来之际，山东阅芯电子科技有限公司首席技术官CTO 张文亮先生接受《 》采访，讨论中国 行业的发展情况，以及阅芯科技如何应对行业发展带来的机遇和挑战。

张文亮表示：近几年来第三代半导体产业发展较火热，国内涌现出众多公司积极参与到该领域的技术革命。山东阅芯的技术聚焦在功率半导体检测领域，所以对第三代半导体器件的测试及可靠性做了较多研究。

“从第三代半导体的检测技术的角度来看，目前，国内相关的器件研究单位对于测试、可靠性及应用研究普遍不够重视。我们看到，一些国外公司，例如是德科技、Lemsys等，对SiC/GaN器件的测试已经有了较深入的研究，但是国内只有我们阅芯在做这方面的研究。阅芯收到了一些SiC/GaN器件测试需求和设备采购需求，这些需求多是来自国外，国内需求非常少。”张文亮说。

SiC是非常具有发展前景的材料，特别是在功率器件和电力应用方面，目前受到极大关注。张文亮认为：未来SiC器件在部分领域替代Si器件的发展趋势毋庸置疑，但在SiC大规模应用之前，需要提高良率并降低成本。目前，SiC二极管器件的可靠性较高，已有较广泛的应用，但是SiC MOSFET器件仍有诸多技术及工程难题需要攻克。

对于中国 行业应该如何学习国际经验，加速产业发展，张文亮也发表自己的看法，他认为：

第一，第三代半导体产业发展需要各个环节联动协同发展，包括材料、设备、工艺、器件、测试、标准、应用等领域。例如：SiC器件若要广范应用，单晶材料需要不断减少缺陷并增加晶圆尺寸，需要开发能耐受更高温度的封装材料，各类生产设备需要不断改进，工艺需要不断优化以提高良率，需要研究合理的测试方法来把控产品品质，需要形成更适合SiC的相关标准，需要开发适合SiC器件的拓扑及程序算法等。因此，第三代半导体的良好发展离不开全产业链的协同发展。这就需要各个产业环节能积极参，同时行业协会需要积极协调与促进环节间的合作。

第二，第三代半导体技术的研发周期长、研发投入高、风险较大。这就需要政策及资本在整个产业上有足够的支撑，同时参与单位需要控制风险。

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