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中科钢研 项目落户上海

2019/9/17 14:50:16      材料来源:SEMI中国

近日,中科钢研节能科技有限公司(中科钢研)晶体产业化项目落户上海。

据介绍,此次签约的先进晶体产业化项目,系中科钢研与国宏华业在引进日本升华法(PVT),高温化学气相沉积法(HTCVD)及俄罗斯电阻加热升华法等国际一流 长晶工艺技术与装备的基础上,通过三年来的技术消化吸收再创新,通过工艺建模、数值模拟、设备集成、工艺试验等方面的系统性工作,在 长晶专用装备、 高纯度原料合成、 单晶生长及衬底片加工工艺方面取得了较大进展,形成了具有自主知识产权的以 单晶生长核心工艺技术为代表的完整工艺技术体系。

该工艺技术体系,覆盖了 晶体与衬底片生产的全工艺环节,保证了 衬底片产品技术指标、质量稳定性和成本可控性有很大的突出优势。

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