前进半导体前端制程检测 致茂投资兆晟奈米科技与工研院签约技转

前进半导体前端制程检测  

致茂投资兆晟奈米科技与工研院签约技转

台湾桃园2017年11月24日电 /美通社/ -- 由致茂电子投资的兆晟奈米科技于24日与工业技术研究院进行“奈米粒子监控技术”转移签约仪式，工研院并将成为兆晟奈米科技的重要股东。兆晟奈米科技已于日前获准进入新竹科学园区，发展、制造半导体先进制程所使用溶液的奈米粒子监测系统，有效协助提升半导体制程良率。

半导体制程中常用到大量溶液，进行晶圆表面的清洗、研磨与蚀刻。随着半导体制程从20奈米、10奈米乃至7奈米，电晶体缩小会使电流通道的宽度越窄，故制作过程中只要溶液出现一丝杂质 -- 杀手级的奈米粒子，就会影响产品良率。目前现有的光散射粒子量测技术在20奈米以下已难以精准侦测溶液中粒子的大小、数量，导致半导体制程良率难以控管。兆晟奈米将提供半导体厂一副“鹰眼”般的眼镜：“新世代溶液奈米粒子监测系统 -- SuperSizer”，可准确侦测制程液态环境中5奈米以上粒子的大小与分布情形，使厂商得以采取必要的措施改善制程提升良率。此技术除应用于半导体先进制程，亦可应用在电子、光电、生医材料等领域。

兆晟奈米科技将结合致茂集团营运据点及行销通路，拓展全球市场。致茂电子为精密电子量测仪器、自动化测试系统、智慧制造系统与全方位Turnkey测试及自动化解决方案领导厂商，在半导体测试领域已具备多项后端制程精密量测产品线，兆晟奈米科技的加入将成为致茂集团提供半导体前端制程检测解决方案的供应商，满足半导体制程更完整的检测需求。