一种革命性的新型10纳米灵敏度气溶胶纳米颗粒计数器NanoAir™ 10

NanoAir 10是一款专门制造的纳米颗粒计数器，具有冷凝颗粒计数器（CPC）的灵敏度和传统洁净室颗粒计数器的易用性。

作者：粒子测量系统

NANOAIR™ 10设计用于监测最关键的晶圆厂空间和超清洁环境，在2.8 LPM的样品流速下提供10 nm的检测灵敏度。该仪器足够小，可用于半导体工艺工具和小型环境。

创新的新型工作流体处理系统设计坚固高效，可实现365天24小时全天候连续运行，无需用户在年度维护之外进行任何形式的干预。10端口歧管配套（ParticleSeeker™) 产品可用于需要按程序顺序监控多个样本位置的应用。

最后，当与PMS的高压扩散器HPD III一起使用时，NanoAir与高压惰性气体兼容。可以使用PMS FacilityNet设施监控软件查看数据，也可以直接传输到第三方SCADA系统或过程工具输入。

NanoAir：使用点（POU）监视器

·         NanoAir可用于全年365天、全天候监测单个采样点，提供真正连续的实时粒子活动。

·         其紧凑的尺寸使其适用于最关键的工艺领域。

·         在独立的使用点应用中，NanoAir将支持长达10米的样品管长度。

ParticleSeeker：在微环境中进行监控

·         ParticleSeeker是NanoAir的配套多点气溶胶采样器，可提供多达10个分布式样本位置。这种能力非常适用于需要广泛污染监测的应用，对晶圆厂中最干净、最密闭的空间内的关键表面进行编程采样点监测。

·         每个歧管端口最多可使用6米的采样管。ParticleSeeker和NanoAir一起提供了监控120平方米空间的能力

HPD-III：高压气体输送监测

·         将NanoAir粒子计数器与PMS的HPD III（高压扩散器）一起使用，可以对≤100 psig的高压散装气体进行实时、连续、高灵敏度的测量。

NanoAir是一款专门为最关键的晶圆厂空间设计的纳米颗粒计数器。它能够检测工艺工具内、关键洁净室区域和加压高纯气体输送中影响产量的颗粒偏移。

https://www.pmeasuring.com/product/nanoair-aerosol-particle-counter-2/

苏州会议

雅时国际(ACT International)将于2023年5月23-24日,在苏州组织举办主题为“2023-半导体先进技术创新发展和机遇大会”。会议包括两个专题：半导体制造与封装、 先进技术及应用。分别以“CHIP China晶芯研讨会”和“ 先进技术及应用大会”两场论坛的形式同时进行。详情点击链接查看：https://w.lwc.cn/s/nAjqi2