TurboDisc MaxBright GaN MOCVD 多反应室系统
2011-7-5
TurboDisc MaxBright GaN MOCVD 多反应室系统, 业界效率最高的 LED 生产平台
The TurboDisc® MaxBright™ GaN MOCVD Multi-Reactor System is the industry’s most productive MOCVD system designed to manufacture high quality, high brightness light emitting diodes (LEDs).
MaxBright 融合了 Veeco 久经考验的 Uniform FlowFlange® 技术,并采用了在模块化的 2 或 4 反应器集群架构中,集成多个高产量 MOCVD 反应器的自动化专业技术。这些反应器依托 Veeco 成功的 K465i 设计并经过改良,既拓展了晶片产能,又实现了先进的专业闭环温控功能,产量比标准的 K465i 提高了 25%。而且,K465i 的配方可以无缝传输到 MaxBright,从而快速投入生产。