在线电子束检视技术提升显示行业制造良率

应用材料公司在线电子束检视技术提升显示行业制造良率

中国显示行业近年快速发展，据统计目前中国在全球平板显示器（FPD）领域占有10%以上的产量。随着电视机和智能手机市场逐渐趋于饱和，为了保持显示行业的持续增长，业界非常关注行业的下一个突破性新技术及发展方向在哪里。OLED作为新兴技术发展势头正劲，业界希望通过OLED技术实现柔性显示器和更高性能，为显示器及其应用拓展更多新的发展方向。

日前，在北京2016国际显示产业高峰论坛期间，应用材料公司副总裁兼显示器事业群大中华区面板业务总经理郭怡之先生表示：视觉需求的发展将推动显示产业增长和技术变革。无论是大型电视机、中小型移动设备，还是智能汽车及增强/虚拟现实（AR/VR）等新应用，都要求更高的解析度，更丰富生动的色彩，更漂亮完美的显示，市场对于性能更出色的新型显示屏的需求不断增加，这些需求正带动显示产业进一步向前发展，会带来设备投资和市场规模迅速增长。

郭怡之先生说：显示材料正在从非晶硅发展为低温多晶硅或金属氧化物，显示屏幕从LCD逐步转向OLED及柔性OLED。OLED在智能手机中的渗透率正快速增长，目前约为20%，预计2018年达到36%，2020年达到55%。OLED目前尚处于产能建设的初期，由此将导致大量OLED工厂诞生。此外，电视机尺寸平均每年增长1.5英寸，大于55英寸电视的需求上升，将推动10代及以上设备投资。从全球电视需求预估，2016-2019年需扩建约15-19座新工厂；从全球手机需求预估 ，2016-2019年需扩建约15-22座新工厂，资本密集程度将大幅上升。

EBR系统：半导体和显示技术完美结合

针对显示行业快速发展的需要，应用材料公司近日推出了全球第一款面向平板显示行业的高分辨率在线电子束检视（EBR）系统，能显著提高OLED，UHD液晶屏制造商良率改善的速度，更快地将新型平板显示产品推向市场。

应用材料公司显示产品事业部良率技术部总经理 Peter D. Nunan 说：随着显示技术的不断发展，制造工艺日趋复杂，需要新型的更加精密有效的检视技术。应用材料公司在半导体检视领域 (SEMVison)拥有20年的领导技术和经验，AKT在显示领域拥有成熟的高真空平台技术，半导体和显示技术完美结合，我们把电子束检视技术(EBR)平台带到显示行业，实现显示制造检视技术的创新。

由于先进的平板显示技术需要越来越多的生产工序，可能产生更多、更小的污染物，以及新类型的缺陷。在区分致命与非致命缺陷以及确认导致缺陷的系统性原因方面，目前传统的在线自动光学缺陷检查设备无一能与SEM分析技术相媲美。在应用材料公司推出EBR系统前，显示屏的离线SEM分析必须先确定缺陷在面板上的位置，再破坏性地切割玻璃基板，然后在显微镜下对每一小片玻璃单独进行检视。这一过程费时费力。为了弥补这些不足，应用材料公司开发了在线SEM检视系统（EBR），能实现业内最高的分辨率和检视速度，且无需破坏玻璃基板。

应用材料公司拥有一系列面向平板显示行业的新产品，帮助显示行业开发出生产高质量、高性能移动显示屏的新技术，满足消费者日益增长的需求。作为半导体行业EBR技术的领导厂商，应用材料公司2015年市场占有率达到70%以上。最新的EBR系统在一台大型真空平台上结合了用于半导体器件检视的扫描电子显微镜(SEM)，成为业内最快、最高效的在线EBR检视技术，能有效发现，分析移动设备和电视显示屏致命缺陷的根源。新的EBR系统能帮助客户解决OLED，LCD制造中的关键挑战。该系统完美结合了应用材料公司在半导体良率控制领域的先进工艺和面板级SEM技术，进一步扩展了我们产品的目标市场，帮助客户避免因良率低下导致的高昂成本。EBR系统将缩短显示工厂生产线的调试时间，从而更快地向市场推出更多先进的平板显示技术。

Peter D. Nuna表示：首台EBR设备于2015年7月出货，推出一年多时间就受到日本、韩国、中国、中国台湾等地客户的热烈反响，2016年上半年第2、3、4台设备出货，2016年末第5台系统即将出货，并且已获得第6台和第7台设备订单，将于2017年出货。很多拥有LTPS/IGZO量产经验的制造商都希望应用EBR系统来提升良率，我们正在与显示行业客户紧密合作，加快新技术引进和新品上市时间。