德国爱思强股份有限公司近日宣布,聚灿光电科技(苏州)有限公司向其订购多套CRIUS® II-L 系统,用于大批量生产氮化镓(GaN)发光二极管(LED)外延片。所订购系统每一批次最多能处理69 片2 英寸规格的晶圆。该订单于2012 年第四季度接获,并于2012年底开始发货。
聚灿光电董事长潘华荣先生表示:“我们热切期待AIXTRON爱思强最新一代CRIUS®近耦合喷淋头®(CCS)系统的交付,这套系统将助力我们实现白光LED 的大批量生产。CRIUS® II-L 系统具有拥有成本低和产能高的优势,加上AIXTRON爱思强在中国市场提供的卓越客户服务,将有效提升我们在LED 市场的竞争力。”
AIXTRON 爱思强中国总经理汪挺表示:“聚灿光电的新订单印证了CRIUS® II-L系统卓越的生产价值。这个可靠的平台将能有效提升企业的产能和产量,且具有较低的拥有成本,我深信聚灿光电很快就能从中受益。”
从旧版的CRIUS® 系统到CRIUS® II-L系统的工艺转移简单易行。此外,仅需要更换底盘,就可以将XL设备改装成可生产直径最大为8英寸晶片的系统。
聚灿光电科技(苏州)有限公司位于中国江苏省苏州工业园区,专门从事优质LED 半导体芯片、激光二极管芯片和半导体照明及集成电路产品的开发和生产。该公司的新厂房拥有LED红黄蓝绿白光色使用的芯片生产线以及一个研发中心,致力以自主创新技术实现150LM/W 高效LED 的大规模生产,并完成从2 英寸到4 英寸晶片的提升。
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