年产 10000 片 6 英寸氧化镓单晶及外延片生长线开工建设

近日，杭州富加镓业科技有限公司 6 英寸氧化镓单晶及外延片生长线在杭州富阳开工建设。这是国内首条 6 英寸氧化镓单晶及外延片生长线，与国际同时起步的 6 英寸单晶生长技术及更加适合量产的外延技术将“换道超车”，助力新型超宽禁带半导体氧化镓产业链高质量快速发展。

氧化镓单晶可以通过熔体法生长，从而在制备成本、单晶质量、缺陷或尺寸等方面相对于第三代半导体 、氮化镓材料及超宽禁带半导体氮化铝、金刚石材料有明显优势，从而成为大国竞争的关键材料。另外，氧化镓材料的热处理温度及硬度均与单晶硅较为接近，从单晶硅器件线转为氧化镓器件线仅仅需要更换 5% 设备，相比而言， 材料硬度较大，且热处理温度较高，从单晶硅器件线转为 器件线，需要更换 25% 设备。考虑到现存单晶硅的器件线以 6 及 8 英寸为主，氧化镓单晶材料及外延片需要跨过 6 英寸门槛后才能进入产业化快车道。现阶段，公司已经实现了 6 英寸导电型及绝缘型氧化镓单晶衬底的制备，单晶外延技术也取得重要进展，已达到 6 英寸硅基器件线产业化门槛。

据了解，目前国际上仅仅有日本 NCT（Novel Crystal Technology, Inc）有 6 英寸氧化镓量产计划。杭州富加镓业是国内目前唯一一家同时具备6英寸单晶生长及外延的公司，开工建设的 6 英寸氧化镓单晶及外延片生长线也是国内第一条 6 英寸氧化镓单晶及外延片生长线，该生产线高度集成单晶生长、衬底加工、外延及检测，整条产线涉及关键设备包括“一键长晶”单晶生长设备、多线切割设备、高精度研磨抛光设备、倒角设备、激光加工设备、全自动化晶片清洗设备、高通量外延设备、表面缺陷检测仪、电学性能测试仪等重要设备。面向未来，6 英寸的氧化镓单晶及外延片将为下游器件厂商提供稳定可控的高质量氧化镓材料。

     图1  6 英寸氧化镓单晶衬底及外延片生长线（杭州富阳）