Brewer Science 发布 工艺设备

据悉，Brewer Science公司于近日发布有关于薄膜晶圆分离与后脱胶清洗的晶圆工艺设备，这些关键设备都涉及到 的工艺制程设备：热剥离器、分离器以及超声波清洗系统。

Cee 1300CSX是一台半自动热剥离器，它适用于薄膜III-V主族和 CS材料 (GaAs、GaN、 InP、与SiC)的高温滑动脱离（high-temperature slide-off debonding）。

ZoneBOND低压、室温脱胶分离设备配备适当密封夹，硬件自动防故障装置。该设备高精准度、高机械性能以及高温敏感都使之能处理2寸~12寸晶圆。

Cee 300MXD超声波清洗系统适用于纺纱基材的均匀声波能量，轻柔得清除残留物质以及可避免外界对其造成的污染。Brewer Science设备主管Wayne Farrar指出，实验室型的Cee更适用于小体积原型加工。