近日,日本信越化学工业开发出了用于制造氮化镓(GaN)半导体的大型基板。面积与硅基板同等,客户的生产效率可提高到2倍以上。“6G”和数据中心使用的新一代半导体将能够以低成本生产,并加快普及速度。
此次成功实现大型化的是用于制造氮化镓
的基板。据悉这种基板可用于6G通信半导体以及数据中心使用的功率半导体等。如果使用氮化镓,就可以在高频段实现稳定通信,以及进行大功率控制,但一直很难生产出高品质的大型基板,这成为普及的障碍。
信越化学拥有以“QST基板”(使用氮化铝等材料的自主基板)为基础,来制备氮化镓结晶的技术。与硅基板相比,可以制作出更薄、品质更高的氮化镓结晶。成功开发出了口径为300毫米的QST基板,面积是此前产品的约2.3倍。与传统半导体常用的硅基板面积相同。
目前已开始提供样品,将投入超过10亿日元资金,最早在几年内实现量产。首先,被认为可能会面向通信用途和数据中心用途。将来还会提升品质,使其应用于纯电动汽车(EV)等用途。
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