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三星旗下Semes宣布量产ArF-i Track设备

材料来源：网络

据报道，近日，三星旗下半导体设备子公司Semes表示，将正式批量生产此前全部依赖进口的ArF-i光刻Track设备“Omega Prime”2号机。Semes在韩国首次开发该设备，并于去年批量生产了1号机。

据了解，Semes此前主要生产用于KrF光刻的Track设备，为了应对光源波长线宽变短的新型光刻机，于是开发了ArF-i版本。

Semens首席技术官崔吉贤表示:“Omega Prime的开发将对今后的进口替代效果产生很大的影响。今后将持续推出以高附加值为中心的差异化设备，成长为技术创新企业。”

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