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台积电:ASML新型光刻机太贵,A16技术计划2026年推出

     

据媒体报道,当地时间周二,台积电高级副总裁张晓强(Kevin Zhang)在阿姆斯特丹举行的一个技术研讨会表示,ASML的最新高数值孔径极紫外光刻机(High-NA EUV)价格过高,并直言:“我喜欢这项技术,但我不喜欢它的标价。”
据了解,这款新光刻机的线宽仅为8nm,精细度是前一代的1.7倍。但每台机器的成本高达3.5亿欧元(约合3.78亿美元),重量相当于两架空客A320,而ASML的常规EUV设备的成本为2亿欧元。
报道称,新款光刻机预计将帮助芯片设计缩小三分之二,但芯片制造商必须权衡技术优势与更高的成本,以及ASML过去的技术是否更可靠或足够好。
台积电的下一代芯片制造技术A16计划于2026年下半年推出。张晓强透露,A16并不一定需要使用ASML的高数值孔径 EUV,可以继续依赖台积电现有的极紫外设备,因为现有的EUV技术已经足够应对这一需求。
目前,台积电是ASML常规EUV光刻机的最大客户。张晓强表示,台积电的A16工厂可能会设计成适应这项新技术。未来是否使用ASML的新技术,将取决于其经济效益以及能否实现技术平衡。
而据韩媒日前报道,英特尔公司已经订购了最新的高数值孔径EUV机器,并于12月底将第一台机器运送到俄勒冈州的一家工厂。截至明年上半年,英特尔已获得ASML生产的大部分高数值孔径EUV)设备。
 
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