Axcelis 设备出货“加速”

■ Purion EXE SiC Power Series™ 200mm 高能注入机

值得一提的是，此前Axcelis还宣布了两则订单交付消息，客户包括中国、日本等地的功率器件制造商：

◎Axcelis宣布向日本领先的功率器件芯片制造商发货Purion EXE™ SiC 高能离子注入机，并完成了Purion H200™ SiC 离子注入机的评估闭合，将用于150mm和200mm 功率器件的生产。

◎Axcelis 宣布向中国多家领先的功率器件芯片制造商批量发货 Purion M™ SiC 中电流离子注入机。预计于第一季度发货，将用于 150mm 功率器件的生产。

2023 年全年，Axcelis实现营业收入 11.3 亿美元，与 2022 年全年的 9.2 亿美元相比，增长了 23%，创历史新高。

得益于技术优势，SiC设备拉动Axcelis营收。2023年，SiC设备业务营收占Axcelis总营收的34%，成为其业绩重要组成部分和增长动力。

展望 2024 年，Axcelis将继续投资研发，同时控制支出，为 2025 年实现 13 亿美元的收入模式做好准备。