Samco宣布销售额达到里程碑

公司宣布RIE-10NR研发系统的出货量达到500台

上图：2023年10月13日星期五，Samco总裁兼首席运营官Tsukasa Kawabe（左中）向理化学研究所团队负责人Michihisa Yamamoto（右中）颁发纪念礼物，庆祝第500台RIE-10NR的安装。

RIE-10NR电容耦合等离子（CCP）型反应离子蚀刻（RIE）研发系统是Samco广为人用的系统，其出货量已达到500台的里程碑。

理化学研究所新兴物质科学中心量子电子器件研究团队负责人Michihisa Yamamoto监督了第500台RIE-10NR的安装，并接待了Samco总裁兼首席运营官Tsukasa Kawabe的访问。

理化学研究所量子电子器件研究团队利用RIE-10NR的功能对二维材料器件进行选择性蚀刻。在纪念会上，Michihisa Yamamoto发表了以下感言：

“我们利用RIE-10NR蚀刻六方氮化硼（hBN），其中六方氮化硼是一种绝缘材料，夹在石墨烯周围，以促进石墨烯接触提取。RIE-10NR是我们的首选，因为它能够进行选择性蚀刻，并具有极高的可重复性。值得注意的是，我之前在东京大学任职期间使用过一款较老的RIE-10NR型号，可追溯到1998年。令人惊讶的是，直到今天，东京大学的其他教授仍在继续使用它。多年来，RIE-10NR出色的可靠性赢得了我坚定不移的信任。”