澳大利亚锡尔弗沃特的BluGlass有限公司基于其专有的低温低氢远程等离子体化学气相沉积(RPCVD)技术开发和制造氮化镓(GaN)蓝色激光二极管,该公司在其硅谷激光器生产厂安装并验证核心GaN晶圆加工设备后,完成了对合同制造商GaNWorks Foundry Inc的收购。
测试证实,n侧晶圆金属化、晶圆减薄、条切割等设备符合GaNWorks的内部运行基准。BluGlass硅谷工厂生产的新型GaN激光器也在进行产品验证。
BluGlass首席执行官Jim Haden认为:“我们收购GaNWorks的专业晶圆加工设备,并获得制造工艺转移和经验丰富的GaN工程师,这将加快开发和生产周期,长期内可大幅节约成本。”他补充道:“我们已迅速将这些复杂的工艺引入内部,目前已完成工艺验证测试,并着手验证我们的首批垂直集成激光器。”
Jim Haden继续说:“我们已经明白将所有内部工艺置于运营控制下的好处,因此我们能够迅速确定更多的工艺优化机会,而这些工艺优化机会有望显著提高生产的良率、可靠性、吞吐量。随着晶圆厂完成垂直整合,我们将继续完善整个制造供应链的流程,进一步提高激光器的性能、可靠性、可重复性。”
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