国内自主研发的功率型大尺寸硅基氮化镓外延片生产线正式建成并投入使用

为全球半导体产业向前迈进提供中国智慧

据下游有关客户验证，中科重仪所生产的氮化镓外延片具备国际领先的技术指标和卓越的性能，促进了下游晶圆、封装和应用端的进一步优化提升。中科重仪稳定产能，提供具备高性价比的硅基氮化镓外延片，不仅有效控制生产成本，还将提供更加灵活的定制化服务和更及时的技术更新。

（研发人员在生产线观察氮化镓外延片的生长情况）

全国产化、自主研发的氮化镓外延片生产线填补了国内氮化镓产业的空白，提高了国内外延片的供应能力，免受国际封锁的影响，降低了氮化镓技术的应用门槛，为氮化镓的更多创新应用提供了可能性。高质量外延片的大规模供应将为消费电子、工业电源、电动汽车、通信等多个领域带来更高效、更先进的解决方案，推动全球半导体产业向前迈进。

国产化MOCVD设备量产功率型氮化镓外延材料不仅仅是一个技术突破，更将是撬动氮化镓产业链变革的重要因素。

成如容易却艰辛，勇毅笃行"再出发"

早在1990年，中科重仪的技术团队就投身于氮化镓领域。1999年，团队研制出国内首支绿光GaN基LED器件，2004年，建成了国内首台应用于LED领域的GaN生产型MOCVD设备，为国内GaN在LED产业的广泛应用打下坚实基础。2015年，团队提出了用于大尺寸外延片应力翘曲评估的“Yao模型”，有效提升GaN外延生产良率，获得了广泛的国际认可。2018年，团队承担起垂直结构氮化镓电力电子器件研制的“国家自然科学基金”课题，进一步钻研功率型氮化镓技术。2021年，团队取得了重大突破——成功研制出国产化中试型电力电子方向专用MOCVD设备，并可以稳定进行大尺寸硅基氮化镓外延材料生长。

乘势而上，蓄力前行。经过持续的技术优化，2023年中科重仪在苏州吴江区建立了国内首条采用国产化MOCVD设备生产的8英寸硅基氮化镓外延产线，单条产线年产能达5000片。投入运营后，将实现氮化镓材料综合生产成本降低50%以上，为市场提供性价比更高的氮化镓外延片产品，更好地助力电力电子器件实现高性能、高可靠性及低成本的生产目标。