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山东粤海金成功研制出8英寸导电型

材料来源：半导体材料行业分会

东粤海金半导体科技有限公司于近日宣布自主研制的SiC单晶生长炉上成功制备出直径超过205毫米的8英寸导电型SiC晶体，晶体表面光滑无缺陷，厚度超过20毫米，同时已经顺利加工出8英寸SiC衬底片。

在8英寸晶体研发过程中，粤海金成功解决了大直径晶体扩径生长、大尺寸热场分布和高温气相输运、大尺寸晶体应力控制等关键共性技术难题，形成并掌握了完整的工艺解决方案，获得了质量优良的单晶与衬底片，为后续持续提升质量并进行产业化批量生产打下了坚实的基础。

粤海金是高金富恒集团旗下专门从事第三代半导体材料——SiC衬底片材料研发与生产的产业化公司。目前主要产品为6英寸导电SiC衬底片，同时致力于更大尺寸的导电型衬底片/半绝缘型衬底片的工工艺研发。

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