Aixtron发布用于GaN LED生产的MOCVD反应器

Aixtron发布16x4 inch 和 69x2 inch 用于GaN 基LED生产的沉积设备

      AIXTRON 新推出世界上最大容量的MOCVD反应器——CRIUS II-L MOCVD反应器，将MOCVD反应器的容量、生产能力和LED生产成本都提升到新的高度，具有生产16x4英寸或69x2英寸晶圆的能力。

      Aixtron发布用于GaN 基LED生产的新型沉积设备，据称新的Aixtron CRIUS II-L 是目前全球最大容量的MOCVD反应器，有16x4 inch或 69x2 inch两种容量可选。新型反应器是基于已经被市场检验的2010年成功推出的CRIUS II平台，保证客户可以无缝迁移升级到合格的高性能LED工艺。

      “LED业减少制造成本是关键，特别是对于固态照明，生产成本降低更为迫切。在分析了MOCVD相关的制造成本后，我们明显发现反应器容量是影响运行成本的关键因素，”Aixtron营销副总裁Rainer Beccard说。“新的Aixtron CRIUS II-L 是目前全球最大容量的MOCVD反应器，可以大幅降低LED芯片成本。它提供卓越的容量和生产能力，并且有突出的良率，由于其优异的一致性和工艺重复能力。CRIUS II-L反应器针对2-8英寸晶片进行优化设计，具有进一步提高生产率的潜力。”

      像前一代CRIUS II反应器一样，CRIUS II-L反应器基于Close Coupled Showerhead (CCS)技术，这是其关键的“促成技术enabling technology”，对于无缝升级和缩短工艺转移有很好的证明记录。CCS技术在许多市场有极好的声誉，被公认为能够直接简化工艺转移，提供稳定和优秀的工艺，保证出色的LED性能。