Gigaphoton公司发布了世界上最大输出级的KrF激光机G45K

对最尖端存储芯片生产率的提高意义重大

半导体光刻光源制造商Gigaphoton株式会社（总部：栃木县小山市，董事兼总经理：浦中克己）宣布，自2019年3月开始出产世界上最大输出级KrF激光机G45K，它将有助于进一步提高最尖端存储芯片的生产效率。​

随着近年来物联网和人工智能的普及，据说近年来世界上的信息数据量已经增长了十倍。 为了解决这个问题，芯片制造商正致力于提高最尖端的高度集成存储芯片的生产率。在光刻工艺中，作为光源的KrF激光机的输出功率直接有助于提高生产率，因此一直被期望实现更高的输出。

为了应对这样的需求，Gigaphoton的KrF激光器G45K输出功率达到了50W，比传统型号提高了25%以上，使得最尖端的存储芯片能够实现更高效率的生产。此外，通过将装置中主要模块的使用寿命延长20%，能够大幅减少维护停机的时间，同时也有助于提高生产率。此外，关于Gigaphoton的绿色技术，和传统型号相同，“无氦气”作为标准装备，适用“hTGM（氖气回收系统）”，能够有效降低运营成本。

Gigaphoton的董事总经理兼CEO浦中克己先生表示：“随着物联网和人工智能的迅速普及，提高最尖端存储芯片的生产率是我们的客户芯片制造商的当务之急。Gigaphoton的KrF激光机G45K实现了世界上最大级的输出功率，并且通过延长模块的寿命节省了停机时间，我们相信这些将对客户的高效生产作出贡献。”

GIGAPHOTON公司简介

GIGAPHOTON公司成立于2000年，作为一家激光器的供应商，自成立以来一直为全球的半导体生产厂商提供有价值的解决方案。GIGAPHOTON时刻以客户为中心，从产品研发到生产、销售及维护，为用户提供业界最高水准的支持。更为详细的介绍请您访问：https://www.gigaphoton.com/