Veeco助力中国高科技电子器件生产

Veeco助力中国高科技电子器件生产

Tim Liu，Veeco公司高级副总裁

Veeco 是全球领先的创新型半导体工艺设备制造商，我们视中国为最具战略意义的市场。Semicon China 2018，我们将展示技术创新成果和平台，以帮助客户解决在如下细分市场所面临的挑战：

• 先进封装、MEMS和RF器件

• LED照明、显示屏和

•  前端半导体制造

•  科研及工业领域

这些市场预计到2020年将增长50％，达到约18亿美元。该增长是多个关键趋势共同推动的结果，包括晶圆级封装、人工智能、全自动驾驶车辆、3D传感、MicroLED和5G RF的增长。Veeco设备的设计宗旨是最大限度地提高性能、产量以及降低运营成本，保证我们在这些市场中均处于技术领先地位。

在 Semicon China 展会上，Veeco 将向客户展示成熟的技术，包括金属有机化学气相沉积（MOCVD）、光刻、单晶片湿法蚀刻和清洁、激光退火（LSA）、3D 检测、离子束沉积和蚀刻（IBD 和 IBE）、分子束外延（MBE）和原子层沉积（ALD）工艺平台。所有这些设备和技术都将用于中国的科技企业生产先进的半导体器件以及固态照明和显示所需的 LED。                                                                  

所服务的市场 

在先进封装、MEMS和RF滤波器市场，Veeco提供光刻设备（AP200/300™ ，收购Ultratech公司后其新技术仍在开发）。同时，我们的精密表面处理（PSP）部门提供WaferStorm® 和WaferEtch®单晶片湿法蚀刻和清洗平台，这些平台被领先的OSAT和IDM厂商应用于铜柱和晶圆级封装（WLP）。 

在LED照明、显示屏和 市场，Veeco是MOCVD领域的领导者，多年来一直具有强大的创新能力并拥有全面的产品系列（EPIK™、K475i™、Propel™）。除了MOCVD以外，我们还将在Semicon China展示用于VCSEL 和DFB制造的PSP湿法蚀刻和清洗设备。这是维易科在光电子应用方面的又一个振奋人心的领域，智能手机、3D传感、全自动车辆的LiDAR传感器以及数据中心的高速数据传输需求推动了光电子应用市场的发展。除了VCSEL，我们还提供MicroLED等领域的解决方案，其性能和效率的优势在智能手机、电视以及增强现实设备（AR）等应用领域都必不可少。我们在 市场也处于领先地位，提供5G驱动的RF器件和电力电子等应用领域的解决方案。

在前端半导体制造领域，维易科在激光退火LSA领域依然是市场领导者，2017年占有约40%的市场份额。在Semicon China展会上，我们还将阐述为什么中国市场对我们设备的需求会增长，以及半导体制造行业领导企业对LSA设备的强烈需求。我们的客户正在努力将我们的新型激光熔化设备整合到他们的7nm及以下工艺节点中。我们相信其独特的技术架构在满足客户工艺要求方面具有明显的优势。除了激光退火之外，Veeco还为EUV掩模工业提供无缺陷沉积设备用于EUV掩模的应用。在嵌入式存储器应用的STT-MRAM市场中，我们提供用于MRAM图型隔离的IBE刻蚀系统。我们还在积极与客户合作对适用于3D NAND、DRAM和逻辑应用工厂的Superfast™3D检测系统进行评估。

当然，Veeco在科研和工业市场上一直很有实力，我们为激光、电信和研发应用领域提供光学镀膜系统。我们还推出了新研发的IBE刻蚀系统Lancer，以解决下一代MEMS和磁性传感器应用问题。Veeco的剑桥纳米技术部门是大学研发领域ALD的领军者，销往全球超过500套系统（Fiji™等离子ALD和Savannah™热ALD）。

维易科的所有产品和技术均由世界级销售和服务团队提供支持。了解更多信息，请访问http://www.veeco.com.cn/。