Entegris 发布高纯度气体纯化系统平台

Entegris 发布高纯度气体纯化系统平台，产能已扩展到亚洲

新介质提高了先进半导体和 LED 应用系统的良率

BILLERICA, Massachusetts，2017年 2 月12日 – Entegris, Inc. (NASDAQ: ENTG)——一家为微电子行业提供特殊化学品和先进材料处理解决方案的领导者——宣布引进新的先进气体纯化平台，以提高半导体和 LED 应用的晶圆良率。新系列 GateKeeper® 气体纯化系统 (GPS) 采用新的纯化介质，可在各种流量下提供一流的气体纯度，且设备占用空间更少。随着产能扩充到了韩国，现在Entegris 可同时在北美和亚洲生产 GateKeeper GPS 系统。

Entegris 微污染控制部门高级副总裁 Clint Haris 表示：“我们的客户面临前所未有的污染控制挑战，如何高效地生产日益复杂的尖端设备成为一大难题。新的 Gatekeeper GPS系统系列为客户提供先进的解决方案，可在这种环境下实现良率最大化。配合这些新技术引进的同时，我们将继续投资北美和亚洲生产设施，进一步扩展全球服务和生产能力。”

先进节点半导体工艺和 LED 生产要求需要更高纯度以清除工艺气体所夹带的污染物，这些污染物会导致产品瑕疵。GateKeeper GPS系统系列可清除气流中的各种污染物，使其降至万亿分之一级别，并可通过配置来适应各种流量。经纯化的气体包括 CDA、N₂、H₂、用于 EUV 的 H₂、Ar、NH₃。此外，制造商正在寻找附属厂房占地面积更小的机台。更小的占地面积可让客户将宝贵的附属厂房地面空间腾出，安装其他所需机台或额外系统来提高纯化产能。

气体纯化产品管理部门主管 Jordan Ruple 表示：“我们和客户紧密合作，了解和满足客户的纯化需求，清除新污染物，增强对已知污染物的敏感度。我们率先为该尺寸的系统提供这一纯度级别——涵盖各种气体和流量，对此我们相当自豪。”

最新 GateKeeper 系统将于 2017 年 2 月 8-10 日在 SEMICON® Korea 展会上亮相。有关详细信息，请参观 D 展厅 5504 号 Entegris 展位、联系当地 Entegris 代表或访问我们的网站。

关于 Entegris

Entegris 是为微电子及其他高科技行业提供特殊化学品和先进材料处理解决方案的领导者。Entegris 通过了 ISO-9001 认证，并在美国、中国、法国、德国、以色列、日本、马来西亚、新加坡、韩国和台湾地区设有制造工厂、客服中心和／或研发机构。更多信息请访问 www.entegris.com。